技术参数：

1.范围与分辨率：2Theta：-100-130度，0.00005度；omega：-45-210度，0.00005度；Chi：-20-90度，0.003度；phii：>正负360度，0.004度

2. X光管模式下的高分辨光束调节器，角发散度最小可达5″

3. 高分辨三轴衍射的探测台，双通道分析晶体（DCA），最高分辨率可达5″

4. 配件：高温台：温度范围为室温至1100 ℃。

主要应用领域： 1. 近完整晶体完整性测试；2 各种低微半导体异质节的结晶质量和结构参数的测量；3. 第三代半导体材料结晶完整性研究；4.晶格应变分析；5.RSM，晶片mapping和极图；6.反射率分析