技术参数
1、 加速电压:0.5-30kV
2、 二次电子分辨率:1.0nm (15kV);
3、电子枪:冷场发射电子源;
4、放大倍率:×20~×800000;
5、X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92
主要应用领域:适用于材料表面形貌、断口、粒度、颗粒分布等进行观察,并可以结合能谱仪,对表面微区成分进行定性和定量分析。