技术参数
横向分辨率：0.1nm;纵向分辨率：0.05nm;样品台： 4寸
主要应用领域：
可以对物体表面进行多种分析测量，如三维轮廓形貌、粗糙度、表面粘性、粒度、颗粒分布等。测试需要，仪器垂直台阶误差小于5%；水平方向误差小于10%。
