技术参数:

1、垂直测量范围：50Å～ 2620kÅ; 分辨率1Å/65kÅ, 10Å/655kÅ, 40Å/2620kÅ；

2、水平测量范围：每次水平扫描数据点最多可达60，000数据点，最大分辨率：0.033um；

3、样品移动范围：X轴151mm，Y轴81mm，Z轴17mm

4、样品台进 速：快速10mm/sec，慢速0.1 mm/sec

主要应用领域：

主要用于测量薄膜层厚度、台阶高度和表面纹理等