技术参数：

SMU的分辨率扩展至0.1fA；脉冲I-V能力用于先进半导体测试；集成的示波器和脉冲测量功能

主要应用领域：

应用半导体器件C-V/I-V特性分析，晶圆级可靠性封装器件特性分析。